Mikrosystemtechnik: Prozessschritte, Technologien, Anwendungen (2006)
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- Synopsis
- Dieses Lehr- und Nachschlagebuch erläutert die grundlegenden Prozessschritte der Mikrotechnologien für Elektronik, Mechanik und Optik. Darauf aufbauend folgen die Verknüpfungen der Einzelprozesse zur Mikrosystemtechnik. Die möglichen Schnittstellen Mechanik/Elektronik, Optik/Elektronik und Optik/Mechanik werden anhand konkreter mikrosystemtechnischer Bauelemente vorgestellt. Die jeweiligen Vorteile der Oberflächenmikromechanik und der Bulk-Mikromechanik werden anhand der erforderlichen Prozesstechnik zur Integration mikrosystemtechnischer Sensoren und Aktoren diskutiert und bezüglich ihrer Kompatibilität zur Mikroelektronik bewertet.
- Copyright:
- 2006
Book Details
- Book Quality:
- Publisher Quality
- ISBN-13:
- 9783835190221
- Related ISBNs:
- 9783835100039
- Publisher:
- Vieweg+Teubner Verlag
- Date of Addition:
- 07/14/22
- Copyrighted By:
- N/A
- Adult content:
- No
- Language:
- German
- Has Image Descriptions:
- No
- Categories:
- Nonfiction, Science, Technology
- Submitted By:
- Bookshare Staff
- Usage Restrictions:
- This is a copyrighted book.